管式爐是在沉底材料上生長優(yōu)質(zhì)石墨烯、碳納米管和碳化硅的專用設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、納米材料、碳纖維、碳化硅、涂層等新材料和新工藝。它在使用前需要做好哪些準備工作呢?
1、設(shè)計溫度升降曲線。升溫速率不得高于10℃/min,降溫速率應(yīng)低于15℃/min。
2、清潔環(huán)境。
3、每周開始使用時,檢查機械泵油路是否在標線以上,取下兩端蓋板,用吸塵器清潔剛玉爐管。
4、將樣品舟推入剛性管式爐中間(恒溫長度10cm)。
5、塞住兩個絕緣爐塞,使第二個爐塞的末端與爐體側(cè)面齊平。
6、安裝燃氣爐法蘭,確認墊片落入凹槽內(nèi)。
管式爐使用步驟:
1、打開主電源,啟動風(fēng)扇。
2、打開面板電源(順時針轉(zhuǎn)動鎖定旋鈕)啟動面板。
3、使儀表處于初始狀態(tài)(即PV顯示數(shù)值,SV閃爍顯示停止)。如果此時不在此狀態(tài),按向上鍵復(fù)位儀器,使儀器只處于測量和顯示狀態(tài)。
4、長按左鍵1秒,進入溫度設(shè)定狀態(tài)。按左鍵移動光標,按上下鍵調(diào)整溫度設(shè)定值。
5、按Enter鍵1秒,進入時間設(shè)置狀態(tài)。按左鍵移動光標,按上下鍵調(diào)整時間設(shè)定值。
6、節(jié)目后的下一步是時間狀態(tài),值為-121結(jié)束所有節(jié)目。按回車確認。
7、按住左鍵,然后按Enter鍵退出程序設(shè)置。
8、按左鍵進入程序設(shè)置狀態(tài),然后連續(xù)按確定鍵,檢查設(shè)置的程序是否符合預(yù)定的升溫降溫曲線。
9、按住左鍵,然后按回車鍵復(fù)位。
10、長按2秒進入基本參數(shù)設(shè)置。連續(xù)按回車鍵查看基本參數(shù)。
11、按住左鍵,然后按回車鍵重置
12、按回車鍵1秒,查看是否為step1,即程序從step開始。
13、按住左鍵,然后按回車鍵復(fù)位。
14、按住向下鍵2秒,SV顯示運行程序。
15、按綠色開機鍵啟動加熱電源,觀察電流表和電壓表:(若工作電流超過150A持續(xù)數(shù)秒,按關(guān)機鍵斷開加熱電源,檢查功能參數(shù)設(shè)置)。
16、當(dāng)使用惰性氣體作為工作氣體時,加熱過程中要密切注意壓力表。如果壓力高于0.08mpa,立即打開出口閥門放空。
17、以氫氣為工作氣體時,冷卻過程中注意監(jiān)控錐形瓶中的氣體出口。如有反吸,立即逆時針調(diào)節(jié)流量計旋鈕,增加進氣量。
18、管式爐升溫、保溫、降溫過程中操作人員不得離開。發(fā)生跳閘時,應(yīng)立即接通電源。