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當(dāng)前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  CVD、PECVD設(shè)備  >  PECVD管式爐  >  OTF-1500X-80-III-4CV-PE三溫區(qū)1500oC PECVD管式爐

三溫區(qū)1500oC PECVD管式爐

簡要描述:OTF-1500X-80-III-4CV-PE是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng),它是由500W的射頻電源,1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)對于生長納米線、石墨烯或SiC薄膜是一個新的實驗幫手。

  • 產(chǎn)品型號:OTF-1500X-80-III-4CV-PE
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-10-21
  • 訪  問  量:2212

詳細(xì)介紹


技術(shù)參數(shù)

三溫區(qū)開啟式1500℃管式爐

  • zui高工作溫度1500
  • 連續(xù)使用溫度1400
  • 三個溫區(qū)分別由三個溫控系統(tǒng)來控制,都可設(shè)置30段升降溫程序
  • 每個溫區(qū)長度為200mm
  • 總溫區(qū)長度為600mm
  • 爐管為高純剛玉管
  • 爐管尺寸:84 O.D x 73 I.D x 1500mm L 
  • 輸入電源: 208 – 240V AC,單相
  • zui大功率:6.6KW
  • 配有一對不銹鋼真空密封法蘭,法蘭上帶有石英觀察窗口
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備加熱效率及反射率,同時延長儀器的使用壽命。

          (點擊圖片查看詳細(xì)資料)

射頻電源

  • 輸出功率:          5 -500W    ± 1% . 
  • 射頻頻率:          13.56 MHz    ±0.005% .
  • 反射功率:          zui大 200W 
  • 匹配:                自動
  • 射頻接口:       50 Ω, N-type
  • 噪音:                    <50 dB. 
  • 冷卻:                  風(fēng)冷
  • 電源:                AC   208-240V, 50/60Hz 

防腐型真空計

 

  • 輸入電源   24V,1A  DC(配有一電壓轉(zhuǎn)換器)
  • 測量范圍   3.8x10-5 -1125 Torr.
  • 數(shù)據(jù)顯示   數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數(shù)據(jù)顯示單位為torr
  • 接頭     1/8"NPT 接頭
  • 產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

真空系統(tǒng)

  • 采用TRP-12的雙旋真空泵極限真空10E-3 Torr 
  • KFD25 快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連.
  • 管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr 
     

質(zhì)量流量計混氣系統(tǒng)

  • 四個精密的質(zhì)量流量計(精度1.5% ) :數(shù)字顯示,自動控制.
  • MFC 1范圍:  0~100 sccm 
  • MFC 23:    0~200 sccm  
  • MFC 4范圍:   0~500 sccm 
  • 一個混氣罐,底部裝有泄廢液口
  • 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動控制4種氣體.
  • 進(jìn)氣口: 41/4NPS. 
  • 出氣口: 4個 1/4NPS. 
  • 采用PLC控制流量計,通過觸摸屏進(jìn)行控制

溫控系統(tǒng)

  • 三個溫區(qū)分別由三個溫控系統(tǒng)控制
  • 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序
  • 帶有超溫和斷偶保護(hù)
  • 控溫精度:+/- 1 ºC
  • 控溫儀表操作視頻
  • 可選;此款設(shè)備可以安裝控制模塊,將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦

外型尺寸

  • 爐體:550 x 380 x 520  mm 
  • 爐體下端移動柜:1800×600×600mm
  • 凈重:220 Lbs. 
  • 運(yùn)輸重量:1200lbs

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終身維護(hù),相關(guān)耗材除外如爐管,密封圈等易耗件

質(zhì)量認(rèn)證

  CE Certified

  

 

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